試験研究用開放設備機器 詳細情報

予約状況
場所 滋賀県工業技術総合センター(信楽) 電話:0748-83-8700
料金表コード V26
機器/試験名称 走査型電子顕微鏡
商品名 走査型電子顕微鏡
メーカ名 日本電子株式会社
型式 JSM-6010LA
仕様 電子銃:Wフィラメント
加速電圧:0.3~30 kV
分解能:高真空の場合 3.0nm(30kV),15nm(1.0kV)
    低真空の場合 4.0nm(30kV BED)
画像モード:二次電子像、反射電子像(組成像・凹凸像・立体像)
最大試料寸法:76mm径
最大試料高さ:43mm
検出器素子面積:60mm2
エネルギー分解能:129.0eV以下
検出可能元素:Be ~ U
備考  
用途 表面観察
取得日 令和7年11月14日 (2025年11月14日)
設置場所 信楽 機器分析室1
使用料 2200円 / 時間

※県外(関西広域連合は除く)からの申請につきましては、2倍の使用料・手数料となります。

使用料(増分) -------

※県外(関西広域連合は除く)からの申請につきましては、2倍の使用料・手数料となります。