試験研究用開放設備機器 詳細情報

走査型電子顕微鏡の概要

( pdf形式、201KB )

予約状況
場所 滋賀県工業技術総合センター(信楽) 電話:0748-83-8700
料金表コード V26
機器/試験名称 走査型電子顕微鏡
商品名 走査型電子顕微鏡
メーカ名 日本電子株式会社
型式 JSM-6010LA
仕様 加速電圧:0.5〜20 kV
分解能:高真空の場合 4nm(20kV),8nm(3kV),15nm(1kV)
     低真空の場合 5nm(20kV)
最大試料寸法:150mm径
元素分析:Be 〜 U
測長機能:2点間距離、角度測定、面積測定 等
備考 ■■平成24年度財団法人JKA(競輪)補助物件■■

本装置は、財団法人JKAの「平成24年度機械工業振興事業」により導入されました。
(分析をおこなった場合は、別途 V39 SEN用元素分析装置 ¥1,300/時間も追加される。)
用途 表面観察
取得日 平成24年9月25日 (2012年9月25日)
設置場所 信楽 機器分析室1
使用料 2140円 / 時間

※県外(関西広域連合は除く)からの申請につきましては、2倍の使用料・手数料となります。

使用料(増分) -------

※県外(関西広域連合は除く)からの申請につきましては、2倍の使用料・手数料となります。