予約状況
場所 滋賀県工業技術総合センター(栗東) 電話:077-558-1500
料金表コード S29
機器/試験名称 X線光電子分光分析装置
商品名 X線光電子分光分析装置(Versa ProbeII、XPS、ESCA)
メーカ名 アルバック・ファイ(株)
型式 PHI5000 VersaProbe2
仕様 ・測定可能元素:Li〜U
・X線源:単色化Al Kα線
・検出器:静電半球型エネルギーアナライザー。イメージング測定可能
・最小測定領域:φ10 μm
・最高エネルギー分解能:0.5 eV以下(Ag 3d5/2のピークで評価)
・帯電中和:Arイオンビームおよび電子銃による帯電中和
・スパッタイオン銃:Arガス、ビーム電圧0.2〜5kV
・大気非暴露測定:トランスファーベッセルの使用により可能
・走査イメージ像:X線励起による二次電子像の取得
・試料ステージ:5軸駆動
備考 ■■平成26年度公益財団法人JKA(競輪)補助物件■■

■下記ページ右アイコンの 「試験研究用設備使用申請書.pdf」 の上部枠内を記入頂きお持ち頂くと受付がスムーズです。
http://www.shiga-irc.go.jp/activities/opening_facilities/
用途 固体試料表面の化学成分・化学状態分析
取得日 平成27年2月24日 (2015年2月24日)
設置場所 内部観察室
使用料 6020円 / 時間

※県外(関西広域連合は除く)からの申請につきましては、2倍の使用料・手数料となります。

使用料(増分) -------

※県外(関西広域連合は除く)からの申請につきましては、2倍の使用料・手数料となります。