設備機器詳細

場所 滋賀県工業技術総合センター(栗東) 電話:077-558-1500
料金表コード J25
機器/試験名称 自動エリプソメータ
商品名 エリプソメータ
メーカ名 (株)溝尻光学工業所
型式 DHA-XAVW/S6
仕様 測定波長:250nm〜800nm
測定角度:55°〜80°、90°
測定方法:偏光解析・反射率測定
測定モード:一点一波長
備考  
用途 材料表面に付着している薄膜等の屈折率、消衰係数および膜厚を光学的に測定
取得日 平成11年3月30日 (1999年3月30日)
設置場所 無機化学機器分析室
使用料 1140円 / 時間

※県外(関西広域連合は除く)からの申請につきましては、2倍の使用料・手数料となります。

使用料(増分) -------

※県外(関西広域連合は除く)からの申請につきましては、2倍の使用料・手数料となります。