設備機器詳細

場所 滋賀県工業技術総合センター(栗東) 電話:077-558-1500
料金表コード M07
機器/試験名称 電界放出型走査型電子顕微鏡
商品名 電界放出型走査型電子顕微鏡
メーカ名 日立製作所
型式 S-4200
仕様 加速電圧:1kV〜25kV
観察倍率:最高50万倍(能力値)
     (無蒸着試料、非導電性試料では高倍率での観察は困難です)
備考 サンプルによっては、蒸着処理が必要です。
水分等を含むサンプル、真空中で飛散の恐れのある粉末試料等は観察できません。
EDX(分析)装置を備えていますので、観察しながらピンポイントでの元素分析が可能です。
デジタルでの画像保存およびEDX分析を行う場合は、別途「M10 SEM用分析装置」の使用が必要(有料)です。

実施例
 ナノ構造の観察(サンプル次第ですが、数10nmの構造まで観察できます)
用途 電子顕微鏡による微小領域の観察・分析
取得日 平成9年1月31日 (1997年1月31日)
設置場所 表面解析室
使用料 4500円 / 時間

※県外(関西広域連合は除く)からの申請につきましては、2倍の使用料・手数料となります。

使用料(増分) -------

※県外(関西広域連合は除く)からの申請につきましては、2倍の使用料・手数料となります。