設備機器詳細
場所 滋賀県工業技術総合センター（栗東）　電話：077-558-1500
料金表コード U22
機器/試験名称 レーザー表面改質装置
商品名 ArFエキシマレーザー
メーカ名 Lamda Physik
型式 COMPex 102
仕様 ArF（193nm)エキシマレーザ
最大エネルギー200mJ
最大繰り返し数：20Hz
パルス幅：3ns

現在、ガス供給が止まっているため、使用できません。
備考 　
用途 酸化物等の薄膜作製及び材料の表面改質
取得日 平成11年3月30日 (1999年3月30日)
設置場所 ものづくり試作開発支援センター
使用料 1430円 / 時間

※県外（関西広域連合は除く）からの申請につきましては、2倍の使用料・手数料となります。
使用料(増分) -------

※県外（関西広域連合は除く）からの申請につきましては、2倍の使用料・手数料となります。