| 予約状況 |
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| 場所 |
滋賀県工業技術総合センター（栗東） 電話：077-558-1500 |
| 料金表コード |
S29 |
| 機器/試験名称 |
Ｘ線光電子分光分析装置 |
| 商品名 |
X線光電子分光分析装置（Versa ProbeII、XPS、ESCA） |
| メーカ名 |
アルバック・ファイ（株） |
| 型式 |
PHI5000 VersaProbe2 |
| 仕様 |
・測定可能元素：Li〜U
・X線源：単色化Al Kα線
・検出器：静電半球型エネルギーアナライザー。イメージング測定可能
・最小測定領域：φ10 μm
・最高エネルギー分解能：0.5 eV以下（Ag 3d5/2のピークで評価）
・帯電中和：Arイオンビームおよび電子銃による帯電中和
・スパッタイオン銃：Arガス、ビーム電圧0.2〜5kV
・大気非暴露測定：トランスファーベッセルの使用により可能
・走査イメージ像：X線励起による二次電子像の取得
・試料ステージ：5軸駆動 |
| 備考 |
■■平成２６年度公益財団法人ＪＫＡ（競輪）補助物件■■
利用時間に応じて使用料を算出します。（本装置はウォームアップ時間等を追加します。）
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| 用途 |
固体試料表面の化学成分・化学状態分析 |
| 取得日 |
平成27年2月24日 (2015年2月24日) |
| 設置場所 |
内部観察室 |
| 使用料 |
6440円 / 時間
※県外（関西広域連合は除く）からの申請につきましては、2倍の使用料・手数料となります。
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| 使用料(増分) |
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※県外（関西広域連合は除く）からの申請につきましては、2倍の使用料・手数料となります。
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