| 予約状況 |
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| 場所 |
滋賀県工業技術総合センター（栗東） 電話：077-558-1500 |
| 料金表コード |
M15 |
| 機器/試験名称 |
電界放出型分析走査電子顕微鏡 |
| 商品名 |
多機能走査型電子顕微鏡システム【ナノ材料観察部】 |
| メーカ名 |
(株)日立ハイテク |
| 型式 |
超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 Regulus8220 |
| 仕様 |
方式： 冷陰極電界放出型電子銃（セミインレンズ）
加速電圧： 0.5〜30kV
照射電圧： 0.01kV〜20kV（リタ―ディングモード使用時）
観察倍率： 最高200万倍（能力値）
画像種類： （上方および下方検出器による）二次電子像
（高角度および低角度）反射電子像
分析可能元素： 4Be〜95Am
最大試料寸法： 観察面を上にしてφ50mm×H10mm
【磁石につきやすい固体試料、磁性を帯びた固体試料に関しては事前に担当とお話しください(粉末は装置が故障するため不可です)】 |
| 備考 |
■本装置は、公益財団法人JKAが実施する「2020年度公設
工業試験研究所等における機械設備拡充補助事業」の採択を
受けて整備されたものです。 |
| 用途 |
ナノ材料の高倍率観察および元素分析 |
| 取得日 |
令和2年12月10日 (2020年12月10日) |
| 設置場所 |
表面観察室 |
| 使用料 |
6600円 / 時間
※県外（関西広域連合は除く）からの申請につきましては、2倍の使用料・手数料となります。
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| 使用料(増分) |
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※県外（関西広域連合は除く）からの申請につきましては、2倍の使用料・手数料となります。
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