| 仕様 |
[測定条件]
・周波数： 20Hz〜1MHz
・信号レベル（電圧）： 5mV rms 〜 20V rms
〃 （電流）： 50μA rms 〜 200mA rms
・DCバイアス（電圧）： 0 〜 ±40V
〃 （電流）： 0 〜 ±100mA
[測定モード]
・回路モード／測定ファンクション
Cpモード： Cp-D, Cp-Q, Cp-G, Cp-Rp
Csモード： Cs-D, Cs-Q, Cs-Rs
Lpモード： Lp-D, Lp-Q, Lp-G, Lp-Rp
Lsモード： Ls-D, Ls-Q, Ls-Rs
[測定結果]
・ |Z|,R,X： 0.01mΩ〜99.9999MΩ
・ C： 0.01pF〜9.99999F
・ L： 0.01nH〜99.9999kH
[誘電率測定] --- with 16451B （※注意）電極接触法（金属板電極）（電極A）が基本の測定方法となります
・試料サイズ
電極接触法（金属板電極）、電極非接触法（間隙法）
直径40〜56mm（電極Ａ） ----- 主電極直径φ38mm／ガード電極内径φ38.4mm
電極接触法（薄膜電極）
直径56mm （電極Ｃ）
・試料厚さ 10mm以下 ※
※表面が粗い試料、厚さが数100μm程度の薄い試料は、試料と金属板電極の間に生じる空気層の影響により、測定誤差が大きくなります。
空気層による測定誤差の問題を回避するためには、試料の表面を滑らかに研磨するほか、試料の表裏に同心円状の電極を形成し、電極接触法（薄膜電極）により測定することで、精度の高い測定が可能となります。
非常に薄い試料、圧縮性が大きい試料、柔らかい試料には、電極非接触法（間隙法）が適していますが、測定・計算が煩雑になるほか、非常に薄い試料の場合には、金属板電極間の距離ならびに平行度の調整が測定精度に影響します。
※粘着剤の付着した試料は不可です。（電極の隙間に付着して清掃しても除去できません。）
※測定データはCDRに書き込んでお渡しします。必要な方はCDRをお持ちください。 |