場所 滋賀県南部産業技術共創センター（栗東）　電話：077-558-1500
料金表コード J33
機器/試験名称 非接触微細形状測定機
商品名 非接触微細形状測定器
メーカ名 Buruker alicona社
型式 InfiniteFocus G6
仕様 －－－－－－－－－現在製備中－－－－－－－－－－

詳細は、担当：機械システム係にご相談ください。

測定範囲　
測定レンズ　4倍、10倍、20倍
回転ユニット（Ｂ軸）　無限回転軸
　※Ａ軸傾斜は利用不可

距離測定精度
　MPE=(3.2+L/100)μm　　※L[mm]

【参考精度】
平面度　U=0.1μm(1.6mmx1.6mm, 10倍レンズ使用時)
線粗さ　U＝0.025μm, σ=0.002μm(Ra=0.1μm)
綿粗さ　U=0.020μm, σ=0.002μm(Sa=0.1μm)
備考 アリコナ
用途 非接触粗さ測定
取得日 令和8年2月19日 (2026年2月19日)
設置場所 プロジェクト準備室
使用料 6750円 / 時間

※県外（関西広域連合は除く）からの申請につきましては、2倍の使用料・手数料となります。
使用料(増分) -------

※県外（関西広域連合は除く）からの申請につきましては、2倍の使用料・手数料となります。