滋賀県工業技術総合センター
滋賀県東北部工業技術センター
試験研究用開放設備機器 使用料一覧
対象設備機器一覧
■栗東
番号:
U15
番号
メーカ名
商品名
型式
所在
390
真空機工(株)
高周波スパッタリング装置
RFS-200
栗東
1453
(株)日立ハイテクノロジーズ
イオンスパッタ
MC1000
栗東
(c) 2002, Industrial Research Center of SHIGA pref.