場所 滋賀県工業技術総合センター(栗東) 電話:077-558-1500
料金表コード U23
機器/試験名称 スパッタリング装置
商品名 マグネトロンスパッタリング装置
メーカ名 日本真空技術(株)
型式 MPS-2000-HC3
仕様 3元スパッタ、2元同時蒸着
誘導結合型高周波スパッタ(MAX 200W)
直流電源(MAX 500W)でのスパッタは可能
基板サイズ:2インチφ
基板加熱温度:MAX 800℃
備考  
用途 金属、酸化物等の薄膜作製
取得日 平成11年3月30日 (1999年3月30日)
設置場所 ものづくり試作開発支援センター
使用料 1430円 / 時間

※県外(関西広域連合は除く)からの申請につきましては、2倍の使用料・手数料となります。

使用料(増分) -------

※県外(関西広域連合は除く)からの申請につきましては、2倍の使用料・手数料となります。