| 仕様 |
<輪郭形状測定時>
測定範囲: X軸 100mm Z1軸 50mm(水平位置より±25mm)
指示精度: X軸 ±(1+0.01L)μm L = 駆動長さ(mm)
Z1軸 ±(2+[4H]/100)μm H = 水平位置からの測定高さ(mm)
測定力: 30mN(スタイラス先端: 先端半径25μm)
追従角度: 登り 77° 下り 87°(面性状による)
<表面粗さ測定>
測定範囲: X軸 100mm 粗さ検出器 800μm , 80μm , 8μm
測定力: 0.75mN(スタイラス先端: 60° R2μm)
分解能: 0.01μm(800μm) , 0.001μm(80μm) , 0.0001μm(8μm)
【用途】
・各種部品形状の精密計測
(寸法・ピッチ・角度・R半径 など)
・各種部品の表面粗さ測定、段差測定 |