| 場所 |
滋賀県東北部工業技術センター（彦根） 電話：0749-22-2325 |
| 料金表コード |
P12 |
| 機器/試験名称 |
非接触微細形状測定機 |
| 商品名 |
非接触微細形状測定機 |
| メーカ名 |
アリコナ社 |
| 型式 |
Infinite Focus SL |
| 仕様 |
機器仕様
測定範囲：X 50mm，Y 50mm，Z 25mm
ワーク最大重量：4kg(ロータリーテーブル使用時0.5kg)
対物レンズ倍率：10倍、20倍
解析：線粗さ、面粗さ、輪郭形状、体積、差分
対物レンズ仕様
10倍
最高垂直解像度：100nm
視野:X 2mm，Y 2mm
20倍
最高垂直解像度：50nm
視野：X 1mm，Y 1mm |
| 備考 |
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| 用途 |
微細物の表面性状、形状測定 |
| 取得日 |
平成30年11月29日 (2018年11月29日) |
| 設置場所 |
彦根庁舎 |
| 使用料 |
1640円 / 時間
※県外（関西広域連合は除く）からの申請につきましては、2倍の使用料・手数料となります。
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| 使用料(増分) |
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※県外（関西広域連合は除く）からの申請につきましては、2倍の使用料・手数料となります。
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