設備機器詳細

場所 滋賀県工業技術総合センター(栗東) 電話:077-558-1500
料金表コード U22
機器/試験名称 レーザー表面改質装置
商品名 ArFエキシマレーザー
メーカ名 Lamda Physik
型式 COMPex 102
仕様 ArF(193nm)エキシマレーザ
最大エネルギー200mJ
最大繰り返し数:20Hz
パルス幅:3ns

現在、ガス供給が止まっているため、使用できません。
備考  
用途 酸化物等の薄膜作製及び材料の表面改質
取得日 平成11年3月30日 (1999年3月30日)
設置場所 ものづくり試作開発支援センター
使用料 1380円 / 時間

※県外(関西広域連合は除く)からの申請につきましては、2倍の使用料・手数料となります。

使用料(増分) -------

※県外(関西広域連合は除く)からの申請につきましては、2倍の使用料・手数料となります。