設備機器詳細
場所 滋賀県工業技術総合センター（栗東）　電話：077-558-1500
料金表コード U23
機器/試験名称 スパッタリング装置
商品名 マグネトロンスパッタリング装置
メーカ名 日本真空技術（株）
型式 MPS-2000-HC3
仕様 ３元スパッタ、２元同時蒸着
誘導結合型高周波スパッタ（MAX 200W）
直流電源（MAX 500W）でのスパッタは可能
基板サイズ：２インチφ
基板加熱温度：MAX 800℃
備考 　
用途 金属、酸化物等の薄膜作製
取得日 平成11年3月30日 (1999年3月30日)
設置場所 ものづくり試作開発支援センター
使用料 1430円 / 時間

※県外（関西広域連合は除く）からの申請につきましては、2倍の使用料・手数料となります。
使用料(増分) -------

※県外（関西広域連合は除く）からの申請につきましては、2倍の使用料・手数料となります。