設備機器詳細

場所 滋賀県工業技術総合センター(栗東) 電話:077-558-1500
料金表コード U30
機器/試験名称 大型スパッタリング装置
商品名 インターバック式スパッタリング装置
メーカ名 日本真空技術株式会社
型式 SIV−2525US
仕様 試料搬送方式:インターバック式
ターゲット数:2
多層膜作製可能
基板加熱:MAX 300℃
基板サイズ:最大A4、厚さ2mm
反応性ガス:1系統(酸素もしくは窒素)
印加電源:直流1.5kW
     高周波1.5kW
     RF+DC重畳可能

搬送系統が故障中です。
備考  
用途 金属、セラミックス等の薄膜作製
取得日 平成15年10月31日 (2003年10月31日)
設置場所 企業化支援棟 成膜試験室
使用料 5700円 / 時間

※県外(関西広域連合は除く)からの申請につきましては、2倍の使用料・手数料となります。

使用料(増分) -------

※県外(関西広域連合は除く)からの申請につきましては、2倍の使用料・手数料となります。