| 場所 |
滋賀県工業技術総合センター（栗東） 電話：077-558-1500 |
| 料金表コード |
U30 |
| 機器/試験名称 |
大型スパッタリング装置 |
| 商品名 |
インターバック式スパッタリング装置 |
| メーカ名 |
日本真空技術株式会社 |
| 型式 |
SIV−2525US |
| 仕様 |
試料搬送方式：インターバック式
ターゲット数：2
多層膜作製可能
基板加熱：MAX 300℃
基板サイズ：最大A4、厚さ2mm
反応性ガス：1系統（酸素もしくは窒素）
印加電源：直流1.5kW
高周波1.5kW
RF＋DC重畳可能
搬送系統が故障中です。
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| 備考 |
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| 用途 |
金属、セラミックス等の薄膜作製 |
| 取得日 |
平成15年10月31日 (2003年10月31日) |
| 設置場所 |
企業化支援棟 成膜試験室 |
| 使用料 |
5770円 / 時間
※県外（関西広域連合は除く）からの申請につきましては、2倍の使用料・手数料となります。
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| 使用料(増分) |
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※県外（関西広域連合は除く）からの申請につきましては、2倍の使用料・手数料となります。
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