場所 滋賀県工業技術総合センター（栗東）　電話：077-558-1500
料金表コード U15
機器/試験名称 イオンコーティング装置
商品名 高周波スパッタリング装置
メーカ名 真空機工（株）
型式 RFS-200
仕様 高周波スパッタリング
２００Ｗまで印加可能
反応性ガス（Ｏ２，Ｎ２）導入可能
３インチφ基板への成膜
備考 　
用途 金属、酸化物等の薄膜作製
取得日 平成8年11月8日 (1996年11月8日)
設置場所 ものづくり試作開発支援センター
使用料 730円 / 時間

※県外（関西広域連合は除く）からの申請につきましては、2倍の使用料・手数料となります。
使用料(増分) -------

※県外（関西広域連合は除く）からの申請につきましては、2倍の使用料・手数料となります。