場所 滋賀県工業技術総合センター（栗東）　電話：077-558-1500
料金表コード J25
機器/試験名称 自動エリプソメータ
商品名 エリプソメータ
メーカ名 （株）溝尻光学工業所
型式 DHA-XAVW/S6
仕様 測定波長：250nm〜800nm
測定角度：55°〜80°、90°
測定方法：偏光解析・反射率測定
測定モード：一点一波長

故障中のため使用不可
備考 　
用途 材料表面に付着している薄膜等の屈折率、消衰係数および膜厚を光学的に測定
取得日 平成11年3月30日 (1999年3月30日)
設置場所 無機化学機器分析室
使用料 1160円 / 時間

※県外（関西広域連合は除く）からの申請につきましては、2倍の使用料・手数料となります。
使用料(増分) -------

※県外（関西広域連合は除く）からの申請につきましては、2倍の使用料・手数料となります。