予約状況
場所 滋賀県工業技術総合センター（栗東）　電話：077-558-1500
料金表コード S29
機器/試験名称 Ｘ線光電子分光分析装置
商品名 X線光電子分光分析装置（Versa ProbeII、XPS、ESCA）
メーカ名 アルバック・ファイ（株）
型式 PHI5000 VersaProbe2
仕様 ・測定可能元素：Li～U
・X線源：単色化Al Kα線
・検出器：静電半球型エネルギーアナライザー。イメージング測定可能
・最小測定領域：φ10 μm
・最高エネルギー分解能：0.5 eV以下（Ag 3d5/2のピークで評価）
・帯電中和：Arイオンビームおよび電子銃による帯電中和
・スパッタイオン銃：Arガス、ビーム電圧0.2～5kV
・大気非暴露測定：トランスファーベッセルの使用により可能
・走査イメージ像：X線励起による二次電子像の取得
・試料ステージ：5軸駆動
備考 ■■平成２６年度公益財団法人ＪＫＡ（競輪）補助物件■■
利用時間に応じて使用料を算出します。（本装置はウォームアップ時間等を追加します。）
用途 固体試料表面の化学成分・化学状態分析
取得日 平成27年2月24日 (2015年2月24日)
設置場所 内部観察室
使用料 6760円 / 時間

※県外（関西広域連合は除く）からの申請につきましては、2倍の使用料・手数料となります。
使用料(増分) -------

※県外（関西広域連合は除く）からの申請につきましては、2倍の使用料・手数料となります。