場所 滋賀県工業技術総合センター（栗東）　電話：077-558-1500
料金表コード U15
機器/試験名称 イオンコーティング装置
商品名 イオンスパッタ
メーカ名 (株)日立ハイテクノロジーズ
型式 MC1000
仕様 ・マグネトロン方式
・試料サイズ　最大直径 60mm
　　　　　　　最大高さ 45mm
・コーティング時間　5〜300sec
・ターゲット　白金　など　
備考 　
用途 走査型電子顕微鏡用の非導電試料の導電処理
取得日 平成28年10月21日 (2016年10月21日)
設置場所 表面観察室
使用料 730円 / 時間

※県外（関西広域連合は除く）からの申請につきましては、2倍の使用料・手数料となります。
使用料(増分) -------

※県外（関西広域連合は除く）からの申請につきましては、2倍の使用料・手数料となります。