予約状況
場所 滋賀県工業技術総合センター（栗東）　電話：077-558-1500
料金表コード M15
機器/試験名称 電界放出型分析走査電子顕微鏡
商品名 多機能走査型電子顕微鏡システム【ナノ材料観察部】
メーカ名 (株)日立ハイテク
型式 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 Regulus8220
仕様 方式：　冷陰極電界放出型電子銃（セミインレンズ）
加速電圧：　0.5～30kV
照射電圧：　0.01kV～20kV（リタ―ディングモード使用時）
観察倍率：　最高200万倍（能力値）　実用５～10万倍
画像種類：　（上方および下方検出器による）二次電子像
　　　　　　（高角度および低角度）反射電子像
分析可能元素：　4Be～95Am
※現在、分析不可。観察のみ可。
最大試料寸法：　観察面を上にしてφ50mm×H10mm
【磁石につきやすい固体試料、磁性を帯びた固体試料に関しては事前に担当とお話しください(粉末は装置が故障するため不可です)】
備考 ■本装置は、公益財団法人JKAが実施する「2020年度公設
工業試験研究所等における機械設備拡充補助事業」の採択を
受けて整備されたものです。
用途 ナノ材料の高倍率観察および元素分析
取得日 令和2年12月10日 (2020年12月10日)
設置場所 表面観察室
使用料 6840円 / 時間

※県外（関西広域連合は除く）からの申請につきましては、2倍の使用料・手数料となります。
使用料(増分) -------

※県外（関西広域連合は除く）からの申請につきましては、2倍の使用料・手数料となります。