場所 滋賀県南部産業技術共創センター（栗東）　電話：077-558-1500
料金表コード J31
機器/試験名称 自動分光エリプソメータ
商品名 分光エリプソメータ
メーカ名 堀場製作所
型式 UVISEL Plus
仕様 偏光方式：位相変調方式
光源　　：150Wキセノンランプ
波長範囲：190nm～2100nm
光入射角度：50度～90度
備考 　
用途 材料の屈折率、消衰係数および膜厚を光学的に測定
取得日 令和8年3月24日 (2026年3月24日)
設置場所 　
使用料 4310円 / 時間

※県外（関西広域連合は除く）からの申請につきましては、2倍の使用料・手数料となります。
使用料(増分) -------

※県外（関西広域連合は除く）からの申請につきましては、2倍の使用料・手数料となります。