予約状況
場所 滋賀県工業技術総合センター（栗東）　電話：077-558-1500
料金表コード S29
機器/試験名称 Ｘ線光電子分光分析装置
商品名 Ｘ線光電子分光分析装置（XPS、ESCA）
メーカ名 アルバックファイ
型式 モデル5400
仕様 測定元素:Li～Ｕ，
Ｘ線源:MgKα
分析器：静電半球型分析器
備考 利用時間に応じて使用料を算出します。（本装置はウォームアップ時間を追加します。）
用途 材料表面の化学組成および化学状態の分析
取得日 平成2年3月15日 (1990年3月15日)
設置場所 表面分析室
使用料 6760円 / 時間

※県外（関西広域連合は除く）からの申請につきましては、2倍の使用料・手数料となります。
使用料(増分) -------

※県外（関西広域連合は除く）からの申請につきましては、2倍の使用料・手数料となります。