場所 滋賀県工業技術総合センター（栗東）　電話：077-558-1500
料金表コード U30
機器/試験名称 大型スパッタリング装置
商品名 インターバック式スパッタリング装置
メーカ名 日本真空技術株式会社
型式 SIV－2525US
仕様 試料搬送方式：インターバック式
ターゲット数：2
多層膜作製可能
基板加熱：MAX 300℃
基板サイズ：最大A4、厚さ2mm
反応性ガス：1系統（酸素もしくは窒素）
印加電源：直流1.5kW
　　　　　高周波1.5kW
　　　　　RF＋DC重畳可能

搬送系統が故障中です。
備考 　
用途 金属、セラミックス等の薄膜作製
取得日 平成15年10月31日 (2003年10月31日)
設置場所 企業化支援棟　成膜試験室
使用料 5930円 / 時間

※県外（関西広域連合は除く）からの申請につきましては、2倍の使用料・手数料となります。
使用料(増分) -------

※県外（関西広域連合は除く）からの申請につきましては、2倍の使用料・手数料となります。