場所 滋賀県工業技術総合センター（栗東）　電話：077-558-1500
料金表コード U34
機器/試験名称 多目的真空蒸着装置
商品名 真空蒸着装置
メーカ名 (株)エイコーエンジニアリング
型式 EB蒸着装置S型
仕様 ・蒸着方式:電子ビーム蒸着（一軸スイープ機能付き）
・蒸着源電力：３kW
・ルツボ容量：２cc
・ルツボ数：３個
・到達真空度：６．７×１０^-6Pa以下
・基板サイズ：直径２インチ
・膜厚分布：５％以内

■■平成１９年度競輪補助物件■■
備考 　
用途 金属、セラミックス、プラスチック、ガラス等に高融点金属等の薄膜を形成
取得日 平成20年1月31日 (2008年1月31日)
設置場所 成膜試験室
使用料 1370円 / 時間

※県外（関西広域連合は除く）からの申請につきましては、2倍の使用料・手数料となります。
使用料(増分) -------

※県外（関西広域連合は除く）からの申請につきましては、2倍の使用料・手数料となります。