対象設備機器一覧

■栗東

番号：U15
番号 メーカ名 商品名 型式 所在
390 真空機工（株） 高周波スパッタリング装置 RFS-200 栗東
1453 (株)日立ハイテクノロジーズ イオンスパッタ MC1000 栗東